測(cè)量參數(shù) | Ra 、 Rp 、 Rv 、 Rt 、 Rz 、 Rq 、 Rsk 、 Rku 、 Rc 、 RPc 、RSm 、 Rmr ( c )、 tp 、 Rmr 、 Rpm 、 Rz1max 、 RzJIS 、 Rmax 、 Htp 、 R δ c 、 R △ q 、 R △ a 、 Rk、 Rpk 、 Rvk 、 Mr1 、 Mr2 、 A1 、 A2 Pa 、 Pp 、 Pv 、 Pt 、 Pz 、 Pq 、 Psk 、 Pku 、 Pc 、 PSm 、 Pmr( c )、 Pmr 、 Pz1max 、 PzJIS 、 P δ c 、 P △ q | |
傳感器 | 檢測(cè)原理 | 電感式 |
測(cè)量范圍 | 400μm | |
針尖半徑 | 5μm | |
針尖材料 | 金剛石 | |
觸針測(cè)力 | 4mN | |
觸針角度 | 90° | |
導(dǎo)頭縱向半徑 | 45mm | |
******驅(qū)動(dòng)行程 | 19mm | |
量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 |
± 25μm | 0.001μm | |
± 200μm | 0.008μm | |
波方式 | 2RC 、 GAUSS | |
取樣長(zhǎng)度 | 0.08mm , 0.25mm , 0.8mm , 2.5mm | |
評(píng)定長(zhǎng)度 | 1L ~ 5L (可選, L 為取樣長(zhǎng)度) | |
示值誤差 | ± 10% | |
示值重復(fù)性 | ≤ 6% | |
工作環(huán)境 | 溫度: 0 ℃ ~ 40 ℃ 濕度:< 90% RH | |
外形尺寸及重量 | 主機(jī): 155.4mm × 75mm × 53mm ,約 580g 驅(qū)動(dòng)器:Ф 26mm × 132.5mm ,約 179g | |
電源 | 內(nèi)置電池:鋰離子充電電池 電源適配器:輸入: 100V ~ 240VAC , 50/60Hz 輸出: 9V , 3A | |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)、傳感器、驅(qū)動(dòng)器、充電器、樣塊、前后護(hù)套、探桿( 4 根) |
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